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機器人|半導體行業5大復合移動機器人應用案例賞析！

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機器人|半導體行業5大復合移動機器人應用案例賞析！

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機器人|半導體行業5大復合移動機器人應用案例賞析！

案例一：新松某半導體企業復合移動機器人項目
（1）項目描述
某半導體企業從2015年開始陸續應用了沈陽新松機器人自動化股份有限公司的復合移動機器人 ， 復合移動機器人分別應用于工廠的加工和物流區域 ， 主要用于半導體材料的搬運 ， 通過機器手臂將物料自動抓取到各加工設備中 ， 來實現物料的自動轉運 。 移動機器人本體及協作手臂均由新松機器人公司提供 。

圖：新松復合移動機器人
（2）難點及創新點
1、采用激光slam導航技術停車定位精度±10mm；2、機器臂末端采用3D視覺補償 ， 定位精度±0.5mm ；3、車間為潔凈環境 ， 設備潔凈等級滿足Class 100；4、自動更換電池技術 ， 復合移動機器人可連續24小時運行 ， 滿足用戶7x24小時不間斷工作；5、復合移動機器人運貨量大 ， 機械臂最大負載20KG ， 移動機器人最大負載200KG ， 綜合性價比高；6、機械臂自動更換夾爪 ， 可以搬運多種物料；7、走行速度60m/min無級變速；8、為了滿足不同物料機械臂臂展加長 ， 同時巷道寬度的限制移動機器人寬度受限 ， 考慮了復合移動機器人的重心及穩定性設計 。
（3）效益或影響
復合移動機器人推出當年 ， 就成功地將其應用到某企業的數字化智能工廠中 ， 在該行業內起到一定示范作用的同時也積累了復合移動機器人的應用經驗 。 復合移動機器人是新松公司最早應用在半導體行業的 ， 也推動了這一行業應用復合移動機器人的認可和使用 。 采用復合移動機器人搬運方式可大大減少車間人員數量（減少約80%）、大大減少搬運次數（調度系統優化最優配送方案） ， 提高作業準確率200% 。 尤其在新冠疫情期間 ， 其他企業面臨人員不能正常到崗情況下 ， 復合移動機器人卻可在客戶的工廠里24小時穿梭 ， 有效的保證了用戶的生產效率和經濟效益 。
案例二：優艾智合晶圓盒搬運機器人項目
（1）項目描述
某全球領先半導體晶圓廠為解決每日繁重的SMIF POD上下機臺任務 ， 引入YOUIBOT智能物流解決方案 ， 通過3臺優艾智合晶圓盒搬運機器人 ， 搭載YOUIFLEET調度管理系統和YOUITMS物流管控系統 ， 完成機臺與電子料架之間的自動化上下料和車間物流數據全流程精細化管理 ， 實現晶圓車間柔性化智能化生產 。

圖：晶圓盒搬運機器人OW8在半導體車間應用
（2）難點及創新點
技術難點：1、視覺定位精度要求±1mm 。 2、高頻次轉運需求對節拍要求嚴苛 ， 人工一次只能搬一個晶圓盒 ， 晶圓盒搬運機器人一次最多可搬運8個晶圓盒 。 3、震動容易對晶圓產生裂紋 ， 晶圓搬運過程對震動要求極其嚴格 ， 晶圓盒搬運機器人在作業時穩定運輸狀態振動均值遠小于 0.1G 。 創新點：1、市面普遍機器人最多設有4儲位 ， 部分工藝晶圓流轉需求達到6個SMIF Pod ， 無法滿足工藝需求 ， OW8晶圓盒搬運機器人擁有目前業界最多的儲位 ， 設有8儲位以及料位智能化管理 ， 滿足所有工藝晶圓流轉需求 。 2、可取放300-2300mm ， 目前業界最高晶圓盒上下料作業高度和最低作業高度優勢 ， 提高FAB的空間利用率 。 3、人工維修高架地板會產生坑洞 ， 晶圓盒搬運機器人自帶檢測坑洼的傳感器 ， 防止跌入 。 4、打通不同工藝流程之間物質流和信息流 ， 生產物流數據全流程可追溯 ， 實現車間生產可視化和生產過程運營管控 。

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