1. 首頁 > 科技 > >

光刻機|中國突破一項光刻機核心技術，打破荷蘭壟斷，國產光刻機未來可期( 三 )

光刻機asml


無論控制精度還是工作效率 ， 我國的這種技術都與國外先進技術有明顯差距 。
三
守得云開見月明的“執著”
自2013年以來 ， 華卓精科就一直致力于研究高精度的雙工作臺系統 ， 想要在工作臺系統上實現中國光刻機技術的趕超 。

在之后的幾年里 ， 該公司實現了超精密位移測量技術、超精密機電系統設計技術、超精密控制技術等核心技術的突破 ， 這些技術的成功突破 ， 奠定了我國雙工作臺研發的技術基礎 。
2016年 ， 在清華大學機械工程系教授朱煜牽頭下 ， 中國光刻機核心零部件頂級供應商華卓精科公司的光刻機雙工作臺通過國家科技重大專項（02專項）的項目驗收 。
這一突破 ， 意味著中國成為了世界上第二家掌握雙工作臺核心技術的國家 。
目前荷蘭的ASML是全球最大的光刻機制造商 ， 按照銷售額來計算 ， ASML占據了全球光刻機市場將近90%的市場份額 ， 尤其是在高端的極紫外光領域 ， ASML幾乎處于壟斷地位 。 他們一臺極紫外光光刻機的售價高達1億歐元 。 極紫光光刻機是實現5nm是更為先進的制程工藝的關鍵 。

我國的這項雙工作臺光刻機技術 ， 完美的打破了荷蘭ASML在這項技術上的壟斷 。
據官網介紹 ， 北京華卓精科科技股份有限公司的主營業務是超精密測控裝備整機以及核心部件、光刻機雙工作臺等內容 。 同時 ， 華卓精科也是國內首家可自主研發并進行一體化銷售的光刻機雙工作臺供應商 。
這項技術的突破 ， 將為我國自主研發65nm至28nm雙工作臺式光刻機奠定技術基礎 。
【光刻機|中國突破一項光刻機核心技術，打破荷蘭壟斷，國產光刻機未來可期】官網產品展示中顯示該項技術可“滿足納米級精度尺度”的產品定制需求 ， 適用于OLED無掩模激光光刻、激光直寫光刻、光刻機等高端制造行業 。
同時 ， 招股書上顯示 ， 華卓精科還對上述技術進行了進一步縱向延伸 ， 突破了現在業內先進的6自由度磁浮微動臺技術 ， 使其運動精度優于2nm ， 這一舉措完美地提高了雙工件臺的分辨率 。

因為這項技術 ， 華卓精科在準備在科創板上市之后 ， 受到了各大媒體的廣泛報道 ， 并被不少媒體都稱之為“光刻機概念第一股”或者“光刻機第一股” 。
但一切進展得并沒有那么順利！
對于這項雙工作臺技術 ， 目前國內的質疑聲從未停止！
在華卓精科實現雙工作臺技術的攻關之后 ， 就開始調動各種資金為在科創板上市做準備 ， 但此前在科創版上市委2021年第51次審議會議上 ， 華卓精科被當庭決定“暫緩審議” ， 在上市委現場問詢中 ， 據對華卓精科的雙工作臺產業化前景提出了質疑 。
答案很明確 ， 如果華卓精科下游客戶未能按計劃實現產業化 ， 那“光刻機雙工作臺”就可能存在可持續性風險 。

此后 ， 華卓精科的科創版招股說明書中也表示 ， 目前華卓精科的“精密運動系統”已經完成規模化量產 ， 靜電卡盤實現小規模量產 ， 晶圓級鍵合設備僅僅出貨一臺……在說明書中 ， 沒有出現關于“光刻機雙工作臺”系統的量產銷售的信息 。
但最受質疑的就是 ， 華卓精科三年時間內累計獲得了7.27億元的政府補貼 ， 補貼額多達公司總營收的兩倍之多 。
2018-2020年度 ， 華卓精科的累計營收不到3.59億元 ， 凈利潤僅4842.43萬元 ， 但與此同時 ， 華卓精科收到的政府補助為13931.25萬元 。
網友們的關注點就集中于：那么大的資金投入 ， 但好像成效微乎其微 ， 甚至無法實現量產 。

因此 ， 對于華卓精科這項“光刻機雙工作臺”技術的應用 ， 大多數網友的態度一直頗為悲觀 。

相關經驗推薦