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ASML對自主生產的光刻機設備有很大的自信 , 表示過即便公開圖紙別人也造不出來 , 也認為中國難以獨立造出頂級光刻機 。 種種表態來看 , 無不彰顯ASML的自信 。
【asml|坐不住了?ASML公開聲稱中企“侵權”,中企:核心技術完全自研】與此同時ASML也在加大EUV光刻機的產能 , 對中國市場一直在努力尋求自由出貨的方式 。 然而ASML再度傳來消息 , 聲稱有一家中企侵權 , 而中企的公開信息卻表示核心技術完全自研 。 事情的來龍去脈是怎么回事呢?ASML坐不住了?
ASML訴中企侵權
頂級光刻機產品可以說是全人類智慧的結晶 , 匯聚了人類文明的最高成就 。 雖然頂級的EUV光刻機出自ASML之手 , 但大部分的核心技術及零部件產品 , 涵蓋軟件硬件設施等等都來自世界各地 。
美國的光源設備 , 德國的光學鏡頭 , 荷蘭的腔體等等組成現有的EUV光刻機產品 , 可用于生產7nm , 5nm高端芯片 。
重要性和生產復雜難度不言而喻 , 全世界也只有ASML能生產EUV光刻機 。 當然 , 光刻機的種類有非常多 , 并不僅僅集中在EUV光刻機 , 其余類別的光刻機在技術難度方面和EUV光刻機是存在差距的 。
因此日本尼康 , 佳能和中國的上海微電子都有能力生產出非中高端光刻機設備 。
出于對技術的自信 , ASML公開表態過就算公開圖紙別人也造不出來 。 然而出乎ASML意料的事 , 其發現一家中國公司掌握可能侵犯ASML知識產權的技術產品 。
根據消息來看 , ASML在發布的2021年財報中指出 , 稱中國企業東方晶源微電子侵犯了ASML的知識產權 , 并且中國銷售有關侵權產品 , 已要求部分客戶停止與該公司的業務往來 。
在得知這一消息后 , 許多人的內心應該是疑惑的 , 第一想法應該是ASML生產的光刻機如此先進 , 別人怎么可能輕易掌握 , 又是如何侵權的 。 或者說是在自主研發的道路上攻克了類似別人已經掌握的技術 , 所以存在侵權 。
關于東方晶源這家公司是否侵權ASML還沒有下定論 , ASML的指控中也用上了“可能”兩個字 , 說明并沒有絕對的確鑿證據 。
而之所以讓ASML提出侵權指控 , 其實和東方晶源背后的一家關聯子公司有關 。 2019年東方晶源旗下關聯子公司XTAL也曾陷入侵權指控 。 同樣是由ASML對XTAL提出侵權訴求 , 經過ASML的多方調查論證和努力 , 結果顯示卻有侵權情況 , XTAL因此被判罰53億人民幣 。
時隔多年 , ASML再次公開聲稱中企侵權 , 而侵權的企業又是曾經勝訴侵權公司的母公司 , 所以ASML認為曾經侵權的企業和現在指控侵權的東方晶源存在關系 。
雖然發現了東方晶源銷售有關疑似侵權產品 , 但由于尚未掌握確鑿證據 , 所以ASML在給出“可能”形容詞的同時也沒有采取進一步的法律行動 。
值得一提的是 , 在東方晶源的官網中顯示關鍵技術完全自研 , 且技術國際領先 。 東方晶源的有關產品覆蓋集成電路關鍵制造技術 , 對提升芯片良率有關鍵作用 。
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