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asml|美就EUV光刻機增設新規，ASML緊急展開布局，中國院士發出警告

asml|美就EUV光刻機增設新規，ASML緊急展開布局，中國院士發出警告
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相比于DUV光刻機 ， EUV設備不僅能完成7nm、5nm等更高制程工藝芯片的制造 ， 而且在產能、良率上也有較大的提升 。 EUV自2015年商用至今 ， 主要是用于智能手機的核心處理器芯片 ， 比如華為的麒麟9000、蘋果的A15以及高通的驍龍888等等 。
不過 ， 隨著智能產品的不斷普及與技術升級 ， 其他類型芯片的制程工藝也在提升 ， 比如DRAM存儲芯片 。 為了控制成本并提高生產效率 ， SK海力士、三星等存儲芯片巨頭決定采用EUV設備來生產 。
這意味著 ， EUV光刻設備的市場需求將越來越大 。 為此 ， ASML方面決定擴大產能 ， 計劃在未來三年時間里再制造出140臺EUV設備 ， 與此同時還研發了新一代高端光刻機 。
ASML一方面是為了盡可能的滿足臺積電、三星、英特爾、SK海力士等客戶的需求 ， 另一方面則是為實現對華自由出貨做準備 。 因為只有當EUV設備不再稀有且不再是最尖端的設備之時 ， ASML才有可能拿到EUV設備面向中國市場的出口許可 。
然而 ， 沒想到的是 ， 美半導體突然修改規則 ， 對EUV設備增設新規 。 現在不再只是限制中企向ASML采購EUV光刻機 ， 而且還干預海外企業中國分廠引入EUV 。
外媒于11月19日報道 ， 美國方面認為SK海力士中國分廠引進EUV設備的計劃 ， 有可能會把先進的技術流入大陸市場 ， 于是決定扼殺這種風險 。
要知道 ， SK海力士、三星這些海外企業在我國市場都設立了很多分廠 ， 而且其超過一半的產能都在這里 ， 也就是說 ， 它們向ASML采購的這批EUV設備中有一大半都是要用于我國市場的分廠 。
可隨著美國的干預 ， 它們或被迫大幅減少EUV光刻機的采購 ， 畢竟該設備價值高達1.2億美元 ， 如果買來后無法立刻投產 ， 那這成本就實在是太大了 。
對于這突如其來的“新規” ， 做出擴產決定的ASML也是始料未及 ， 如今EUV設備非但無法實現自由出貨 ， 就連外企在中國的分廠也無法再使用了 ， 這相當于是直接切斷了它與國內市場有關EUV設備的一切關聯 。
這樣的結果顯然是ASML不愿意看到的 ， 一方面是由于我國是全球最大的半導體消費市場、EUV設備又是利潤最高的產品 ， 這關乎著ASML的營收；另一方面 ， 美國不留余地的收緊對EUV設備的出口限制 ， 必然會加快我們自主研發的腳步 ， 一旦物美價廉的國產高端光刻設備正式落地 ， ASML獨一無二的市場地位必然會受到沖擊 。
也正是由于這些原因 ， ASML在國內光刻市場緊急展開了兩項布局 。
首先 ， 加大DUV設備的出貨 。 ASML中國區總裁沈波在上海進博會上強調：DUV設備可以對中國市場自由出貨 。 很顯然 ， 這是在催促著我們主動大量采購 ， 其目的是在上海微電子研發的國產浸沒式DUV光刻機落地之前 ， 盡可能的搶占市場 ， 防止未來被排除在外 。
其次 ， 在我國市場增設研究所 ， 廣納華人光刻工程師 ， 借助國內光刻人才為其創新技術、創造專利 。
這可謂是“一箭雙雕” ， 因為隨著國內市場在ASML的EUV產線上技術占比的不斷增多 ， 美技術占比就會不斷減少 ， ASML也就有機會實現自主開放；與此同時 ， ASML憑借著在國內市場積累的大量專利 ， 將可以通過“專利授權”的方式 ， 讓我們無法擺脫對它的依賴 。

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