光刻機|中科院EUV光刻機新消息,結局基本清晰了

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也許你在用的電腦 , 所用芯片的工藝還是14納米 , 但是現在的芯片制造工藝 , 已經推進到了3納米 。

而且 , 芯片工藝的推進速度 , 還沒有看到減慢的跡象 , 例如臺積電近日就宣布 , 其3納米研發團隊 , 開始向1.4納米進發 。
制造工藝這么先進的芯片 , 離不開精良的設備 , 也就是EUV光刻機 , 正如大家所了解的 , 我們還無法進口這款設備 。

因此即使是5納米芯片 , 大陸中企晶圓廠也無法進行實驗性的量產 。
很顯然 , 如果要打破這樣的局面 , 基本就是兩個辦法 。
第一個 , 寄希望ASML可以獲得授權 , 開放向我們供貨 , 但是這個選擇就顯得太被動了 , 如果遲遲不開放 , 那豈不是我們永遠都無法制造先進工藝的芯片了 。

所以第二種辦法更靠譜一些 , 也就是自主研發 。
相信有的朋友還記得 , 在2020年的時候 , 中科院院長白崇禮曾經表示 , 將會解決一批卡脖子的問題 , 其中光刻機就赫然在列 , 當然 , 這里指的就是EUV光刻機 。
當時不禁有網友表示 , ASML研發EUV相關的技術有二十多年歷史 , 我們則剛宣布要解決這個問題 , 是不是有點不太現實了 。


那么真的如此嗎?其實不然 。
實際上 , 中科院早就開始了在EUV方面的技術研發 , 而ASML方面其實也傳出消息 , EUV光刻機的“大門”正在向中企打開了 , 結局已經基本清晰了 。
可能很多朋友不知道 , 在某個科技領域要計劃實現突破 , 甚至國產替代 , 不是馬上組織實施 , 給資金、給團隊、給資源等就可以解決的 , 這需要很多的積累 , 其中非常重要的就是專利積累 。

這是因為 , 如果你沒有申請到足夠的專利 , 那么在以后的設備研發上 , 很可能你就會侵權 。
ASML在光刻機領域已經很強大了吧 , 但是ASML依然需要在專利方面深耕 , 例如在2019年 , ASML就向尼康支付了1.5億歐元的專利訴訟和解費用 。

在更早的2007年 , ASML還與佳能進行了專利方面的交叉授權 。

因此如果沒有一定的專利積累 , 將會很難在這個領域立足 。
而我們發現 , 中科院早在2002年就開始研發EUV方面的技術 , 并且已經申請了專利 。

可以看到 , 在2002年6月24日 , 中科院光電院就申請了一項“自適應全反射極紫外投影光刻物鏡”的專利 。
在專利的摘要解析當中明確指出 , 該專利技術用于EUV光刻機當中 。


但中科院的努力可不止這些 , 除了上面我們談到的中科院光電院 , 還有中科院長光所、上光所、微電子所和高能物理研究所等 。
其中已經申請的EUV專利上百項 , 就在今年的三月份 , 則剛剛公開了一項新的EUV專利 , 申請方為中科院上光所 。

由此可見 , 在白院長2020年宣布要解決卡脖子的EUV光刻機時 , 其實中科院方面早就努力了至少18年的時間 。
很顯然 , 多年的專利積累 , 已經為我們實現EUV光刻機走向量產 , 做好了一條護城河 。

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