mems即微機電系統（英語：Microelectromechanical Systems，縮寫為MEMS）是將微電子技術與機械工程融合到一起的一種工業技術，它的操作范圍在微米范圍內 。比它更小的，在納米范圍的類似的技術被稱為納機電系統 。
微機電系統（MEMS, Micro-Electro-Mechanic System）是一種先進的制造技術平臺 。它是以半導體制造技術為基礎發展起來的 。MEMS技術采用了半導體技術中的光刻、腐蝕、薄膜等一系列的現有技術和材料 ， 因此從制造技術本身來講，MEMS中基本的制造技術是成熟的 。但MEMS更側重于超 精密機械加工，并要涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域 。它的學科面也擴大到微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理學的各分支 。
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