【波導|華林科納----濕法蝕刻制造的GaN基藍色超輻射LED】
圖4(a)探測器設置示意圖和(b)作為+c面和背面面內測量電流函數的光譜積分強度
總之 ， 使用新穎的選擇性化學蝕刻工藝制造的非極性m-平面藍色SLD被證明是可行的 。 SLD制造只需要在標準m面LD制造工藝結束時添加一次額外的化學蝕刻 。 l–I特性顯示強度作為電流的函數呈指數增長 ， 輸出功率達到5 mW ， 光譜寬度為9 nm ， 峰值波長為439 nm ， 在100毫安(4.76 kA/cm2)左右開始超發光 。
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