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光刻機(jī)是芯片制造環(huán)節(jié)的一種關(guān)鍵設(shè)備 , 在芯片的工藝制程上 , 也主要是由光刻機(jī)來決定的 。
根據(jù)芯片制造環(huán)節(jié)的不同 , 可以分為前道光刻機(jī)和后道光刻機(jī) , ASML的優(yōu)勢在于前道光刻機(jī) , 而我國上海微電子的優(yōu)勢 , 則是后道光刻機(jī) 。
其中決定芯片制程的就是前道光刻機(jī) , 所以由于ASML使用了部分老美的技術(shù) , 因此EUV光刻機(jī)就受到修改芯片規(guī)則的制約 , 無法出貨大陸中企 。
不過根據(jù)最新的消息顯示 , 老美方面計劃將DUV光刻機(jī)也納入范圍當(dāng)中 。
此前在EUV光刻機(jī)上 , ASML的態(tài)度比較緩和 , 但這次直接表示了拒絕 , 可以說ASML不再遮掩 。
ASML之所以會在態(tài)度上出現(xiàn)這樣的巨大反差 , 出于兩個方面的因素 , 分為外部因素和內(nèi)部因素 。
在內(nèi)部因素上 , 之所以EUV光刻機(jī) , ASML遵從了修改后的芯片規(guī)則 , 是因?yàn)镋UV光刻機(jī)的關(guān)鍵零部件需要美的技術(shù) , 甚至這些零部件就來自美本土 。
但是在DUV光刻機(jī)上則不然 , 換句話說 , ASML在DUV光刻機(jī)上實(shí)現(xiàn)了全球領(lǐng)先 , 與美可以說沒有直接的聯(lián)系 。
而且DUV光刻機(jī)的關(guān)鍵部件 , 如雙工件臺、浸沒系統(tǒng)等 , 主要技術(shù)來自ASML自己 , 所以說ASML在DUV光刻機(jī)上擁有著說話的底氣 。
當(dāng)然 , 內(nèi)部因素其實(shí)還不是最主要的 , 主要還是來自外部因素 。
所謂的外部因素 , 就是DUV光刻機(jī)畢竟是一項(xiàng)已經(jīng)成熟的產(chǎn)品 , 從本質(zhì)上說 , DUV光刻機(jī)沒有技術(shù)上難以逾越的鴻溝 。
換句話說 , 只要假以時日 , 愿意投入資金去研發(fā) , 是都可以研發(fā)出來的 。
例如我們國產(chǎn)光刻機(jī) , 早就已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了DUV光刻機(jī)的量產(chǎn) 。
EUV光刻機(jī)與DUV光刻機(jī)的關(guān)鍵不同 , 是光源的不同 , EUV光刻機(jī)的光源波長更短 , 制造難度很大 。
而DUV光刻機(jī)的光源 , 我們很早就已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了突破 , 國產(chǎn)替代完全沒有問題 。
所以ASML才說 , DUV光刻機(jī)已經(jīng)是一項(xiàng)成熟的技術(shù) , 言下之意 , 如果我不賣 , 那我很快就會被替代 。
事實(shí)上 , 我們國產(chǎn)DUV光刻機(jī)的高端部分 , 近年來 , 各個主要零部件 , 已經(jīng)紛紛進(jìn)入中試階段 , 距離量產(chǎn)已經(jīng)是一步之遙 。
所以對于ASML來說 , 讓DUV光刻機(jī)也去適配修改后的芯片規(guī)則 , 沒有任何意義 , 只會是讓ASML丟失大量的市場和營收 。
要知道 , 目前我們不僅是全球最大的芯片市場 , 也是全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備市場 , 而ASML在老美的營收已經(jīng)連續(xù)三年下滑 。
在今年上半年 , 我們大陸中企為ASML帶來的營收貢獻(xiàn) , 直接占據(jù)了份額第一 。
所以從這個外部因素來說 , ASML是難以接受DUV光刻機(jī)的新規(guī)則的 。
中國院士倪光南就說過 , 要發(fā)展核心科技 , 因?yàn)楹诵募夹g(shù)是買不來、求不來、換不來的 , 確實(shí)如此 。
當(dāng)然 , 我們依然堅(jiān)持開放的態(tài)度 , 因?yàn)檫@樣才能刺激競爭 。
就像之前華為海思可以研發(fā)自己所需要的芯片 , 但是依然會外購芯片 , 就是刺激海思不斷進(jìn)取 。
但如果無法獲得外部供給 , 我們也能做到自給自足 。
【光刻機(jī)|光刻機(jī)風(fēng)云再起,ASML不再遮掩,中國院士說對了】
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